1.净化工程验收方案

净化工程施工结束,由投标方向招标方提出验收时间和参与验收人员数量,由招标方批准,届时给予验收。

如果招标方在投标方提出验收7日内无回复,则工程被认为自动通过验收。


2.净化工程验收方法和指针

2.1等级标准

a洁净度等级标准:美国联邦标准(FS-209E)

等级名称

等级限值

0.1μm(ft3)

0.2μm(ft3)

0.3μm(ft3)

0.5μm(ft3)

5μm(ft3)

1

35

7.5

3

1

-

10

350

75

30

10

-

100

-

750

300

100

-

1000

-

-

-

1000

7

10000

-

-

-

10000

70

100000

-

-

-

100000

700

注:表中数字为各级标准中所允许的粒子数上限值(颗粒数/ft3)

b洁净室温湿度标准:

以洁净室内生产工艺(甲方)要求为测试标准。

c洁净室噪声标准:

静态状态:室内噪声级≤65dB(A)

本底噪声干扰扣除量参照下表:

相差量(dB)

6~9

4~5

3

扣除量(dB)

1

2

3

注:由于技术经济条件限制,或噪声大于70dB(A)对生产无影响时,噪声级可适当放宽,但不宜大于75dB(A)。

d洁净室照度标准:

以<<洁净室施工验收规范>>为标准,照度要求:300Lx。

注:以测试结果的平均值来衡量。

e洁净室正压标准:

洁净区与非洁净区大于等于10Pa,其它房间大于等于5Pa

2.2测试环境

a净化空调单机设备和系统调试完成并至少运行24小时后;

b洁净室及净化空调系统已全面彻底清扫,并于清扫后由身着洁净服的人员擦拭表面完成;

c测试及调整应在空态或静态下进行;

d测试人员不应多于3人。

2.3测点分布

a测点间距0.5-2.0m;

b层流洁净室测点总数不应少于20点;

c水平层流洁净室测点仅分布在第一洁净工作区。

d采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作区的高度

(离地点0.8m)。每个采样点的最小时间为1min,采样量至少为2L。

e当洁净室或洁净区仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次。

f测点位置:距墙1.0m,高度0.8~1.5m工作区域

g最低限度采样点数(NL):

NL=A0.5

式中NL——最少采样点

A——洁净室或被控洁净区的面积(M2)

2.4测量仪器:

a洁净度测量仪器规范要求:光散射激光粒子计数器

使用仪器:美国MetOne227A型掌上型激光粒子计数器

仪器性能:流量:0.1ft3/min

灵敏度:0.5μm

采样粒径:0.5μm,0.7μm,1.0μm,3.0μm,5.0μm

测量方式:粒子浓度或单位时间内粒子数

b温湿度测量仪器规范要求:温湿度测试仪

使用仪器:TES1360温湿度测试仪

仪器性能:精度:0.1℃0.1%RH

测量范围:-20℃~60℃

10%~95%RH

c噪声测量仪器规范要求:声级计,频率分析仪,或自动记录仪

使用仪器:台湾LUTRONSL-4001声级计

仪器性能:精度:0.1dB

测量范围:30~130dB

A声级或C声级

d照度测量仪器规范要求:照度测试仪

使用仪器:ILLUMINOMETERMODEL5200照度测试仪

仪器性能:精度:1Lx

测量范围:0~1000Lx

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洁净室验收标准
Tags:洁净室验收标准

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